Nitrogen Trifluoride (NF3) Gas Kemurnian Tinggi
Informasi dhasar
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Apa materi iki?
Nitrogen trifluoride (NF3) minangka gas sing ora ana warna lan ora ana ambune ing suhu kamar lan tekanan atmosfer. Bisa dicairake ing tekanan moderat. NF3 stabil ing kahanan normal lan ora gampang rusak. Nanging, bisa decompose nalika kapapar suhu dhuwur utawa ing ngarsane katalis tartamtu. NF3 nduweni potensi pemanasan global (GWP) sing dhuwur nalika diluncurake menyang atmosfer.
Ngendi nggunakake materi iki?
Agen pembersih ing industri elektronik: NF3 akeh digunakake minangka agen pembersih kanggo mbusak rereged residual, kayata oksida, saka permukaan semikonduktor, panel tampilan plasma (PDP), lan komponen elektronik liyane. Bisa kanthi efektif ngresiki permukaan kasebut tanpa ngrusak.
Gas etsa ing fabrikasi semikonduktor: NF3 digunakake minangka gas etsa ing proses manufaktur semikonduktor. Iku utamané efektif ing etching silikon dioksida (SiO2) lan silikon nitrida (Si3N4), kang bahan umum digunakake ing pabrikan sirkuit terpadu.
Produksi senyawa fluorine kanthi kemurnian dhuwur: NF3 minangka sumber fluorin sing terkenal kanggo produksi macem-macem senyawa sing ngemot fluorin. Iki digunakake minangka prekursor ing produksi fluoropolymers, fluorocarbon, lan bahan kimia khusus.
Generasi plasma ing manufaktur tampilan panel datar: NF3 digunakake bebarengan karo gas liyane kanggo nggawe plasma ing produksi tampilan panel datar, kayata tampilan kristal cair (LCD) lan PDP. Plasma penting ing proses deposisi lan etsa sajrone pabrik panel.
Elinga yen aplikasi lan peraturan tartamtu kanggo panggunaan materi / produk iki bisa beda-beda miturut negara, industri lan tujuane. Tansah tindakake pandhuan safety lan takon pakar sadurunge nggunakake materi / produk iki ing aplikasi sembarang.
